近日據(jù)平頂山市生態(tài)環(huán)境局官網(wǎng)消息,平頂山市生態(tài)環(huán)境局擬對河南中宜創(chuàng)芯發(fā)展有限公司(以下簡稱:中宜創(chuàng)芯)年產(chǎn)1000噸電子級高級碳化硅粉體項目(一期)環(huán)境影響報告書進行批準。
據(jù)悉,項目總投資6億元,本次僅針對一期工程,主要建設(shè)年產(chǎn)500噸電子級高純碳化硅粉體生產(chǎn)線(生產(chǎn)區(qū)包含混料間、粉料合成間、純化間、原材料庫、成品庫等,辦公區(qū)包含會議室、辦公室等)、公用和環(huán)保配套設(shè)施設(shè)備等。
該項目采用改進自蔓延高溫合成法(SHS)制備碳化硅粉體工藝(原料按一定化學(xué)計量比通過多向運動混合機將原料Si粉和C粉混合均勻,并裝入石墨坩堝中;然后將石墨坩堝放入原料合成爐,關(guān)爐,待真空抽至0.0001Pa以下后,充入氬氣等至所需壓強;接著按一定升溫速率進行升溫至所需溫度進行高溫合成,待一段時間后,降溫停爐。出爐后的碳化硅為塊狀,利用晶體一體機進行破碎、研磨和篩分,破碎、研磨用來消除結(jié)塊和晶須,篩分使得粒徑分級,之后進入純化爐進行焙燒,除去未反應(yīng)的碳和浮灰,冷卻后包裝、標記、入庫),設(shè)備均采用相符原料合成爐,所用原料Si粉和C粉純度均為6N以上,在高溫下持續(xù)反應(yīng),最后得到高純碳化硅粉體。
作為該項目主導(dǎo)方,中宜創(chuàng)芯成立于2023年5月24日,由中國平煤神馬控股集團和平頂山發(fā)展投資控股集團共同出資設(shè)立。
項目方面,中宜創(chuàng)芯正在分期建設(shè)年產(chǎn)2000噸碳化硅半導(dǎo)體粉體生產(chǎn)線,總投資20億元。其中,項目一期總投資6億元,年產(chǎn)能500噸,占地12000平方米,于2023年6月20日開工建設(shè),9月20日項目建成并試生產(chǎn),9月30日首批產(chǎn)品出爐。
隨后在今年5月,中宜創(chuàng)芯碳化硅半導(dǎo)體粉體500噸生產(chǎn)線成功達產(chǎn),產(chǎn)品純度最高達到99.99999%,已在國內(nèi)多家企業(yè)和研究機構(gòu)開展試用和驗證。
技術(shù)方面,作為一家碳化硅半導(dǎo)體粉體研發(fā)、生產(chǎn)和銷售企業(yè),中宜創(chuàng)芯擁有先進的粉體合成爐和自動化無污染破碎技術(shù),其產(chǎn)品具有單爐產(chǎn)能大、顆粒度大、純度高、阿爾法含量高和游離碳低等優(yōu)點,更適合8英寸碳化硅厚單晶的生長。(集邦化合物半導(dǎo)體Zac整理)
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