圖片來源:拍信網(wǎng)正版圖庫
據(jù)早先消息,在6英寸SiC外延機(jī)型方面,中電科48所收獲了國內(nèi)第三代半導(dǎo)體裝備行業(yè)的第一大訂單。該所研發(fā)的芯片制造關(guān)鍵裝備SiC高溫離子注入機(jī)已實(shí)現(xiàn)100%國產(chǎn)化,穩(wěn)居國內(nèi)市場(chǎng)占有率第一。
今年6月,2023上海國際半導(dǎo)體展覽會(huì)上,中電科48所攜自主研發(fā)用于生產(chǎn)SiC外延片的國產(chǎn)8英寸SiC外延設(shè)備亮相,標(biāo)志著國產(chǎn)第三代半導(dǎo)體專用核心裝備邁進(jìn)“8英寸時(shí)代”。
(文:集邦化合物半導(dǎo)體Morty整理)
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