天眼查資料顯示,2024年11月1日,揚(yáng)州東興揚(yáng)杰研發(fā)有限公司成立,法定代表人為梁瑤,注冊資本500萬人民幣,經(jīng)營范圍含集成電路芯片設(shè)計及服務(wù)、電力電子元器件銷售、電子產(chǎn)品銷售、集成電路芯片及產(chǎn)品銷售、新材料技術(shù)研發(fā)等。股東信息顯示,揚(yáng)州東興揚(yáng)杰研發(fā)有限公司由揚(yáng)杰科技全資持股。
此前在7月31日,揚(yáng)州杰嘉電子材料有限公司成立,法定代表人為唐杉,注冊資本100萬人民幣,經(jīng)營范圍含電子專用材料制造、新材料技術(shù)研發(fā)、金屬材料制造、橡膠制品制造等。股東信息顯示,揚(yáng)州杰嘉電子材料有限公司也由揚(yáng)杰科技全資持股。
2024以來,據(jù)集邦化合物半導(dǎo)體不完全統(tǒng)計,包括揚(yáng)杰科技、中車時代半導(dǎo)體、江豐電子等在內(nèi),已有多家碳化硅相關(guān)廠商相繼成立了多家新公司。
其中,北方華創(chuàng)、上海集成電路研發(fā)中心有限公司、上海臨港新片區(qū)科創(chuàng)產(chǎn)業(yè)股權(quán)投資基金管理有限公司共同成立了上海芯勢能企業(yè)管理咨詢中心(有限合伙)。
江豐電子全資成立了寧波江豐同創(chuàng)電子材料有限公司,該公司法定代表人為姚力軍,注冊資本5000萬元,經(jīng)營范圍含電子專用材料研發(fā);電子專用材料制造;電子專用材料銷售;顯示器件制造;電子元器件制造;電力電子元器件銷售;光伏設(shè)備及元器件制造;光伏設(shè)備及元器件銷售;電子專用設(shè)備銷售;電子專用設(shè)備制造等。
時代電氣旗下中車時代半導(dǎo)體全資成立了合肥中車時代半導(dǎo)體有限公司,該公司法定代表人為羅海輝,注冊資本3.1億元,經(jīng)營范圍含半導(dǎo)體分立器件制造、半導(dǎo)體分立器件銷售等。(集邦化合物半導(dǎo)體Zac整理)
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]]>揚(yáng)杰科技:營收達(dá)15.58億
揚(yáng)杰科技表示,報告期內(nèi),隨著半導(dǎo)體市場需求逐步改善,公司營收規(guī)模進(jìn)一步擴(kuò)大,截至報告期末累計達(dá)到44.23億元,較去年同期上升9.48%,累計歸母凈利潤為6.69億元,較去年同期上升8.28%。
其中第三季度營收15.58億元,較去年同期上升10.06%,歸母凈利潤為2.44億元,較去年同期上升17.91%。
針對業(yè)績上漲,揚(yáng)杰科技表示,報告期內(nèi),下游應(yīng)用領(lǐng)域需求回暖。隨著全球汽車行業(yè)向電動化和智能化的快速轉(zhuǎn)型,為公司提供了新的增長機(jī)遇,2024年前三季度公司汽車電子業(yè)務(wù)營業(yè)收入較去年同期上升60%。
同時,隨著消費類電子及工業(yè)市場需求逐步回升,2024年前三季度消費電子及工業(yè)產(chǎn)品營業(yè)收入較去年同期上升均超20%。
此外,公司持續(xù)推進(jìn)降本增效以及推出滿足市場的新產(chǎn)品,實現(xiàn)了毛利率的上升。
德州儀器:營收達(dá)41.5億美元
德州儀器公布2024年第三季度營收為41.5億美元(折合人民幣約295.8億元),同比下降8%,但環(huán)比增長9%;凈利潤為13.6億美元,同比下降20%。
數(shù)據(jù)顯示,德州儀器已連著8個季度營收同比下滑,但此次是七個季度以來的最小降幅,營收與凈利潤皆超過外界預(yù)期。受智能手機(jī)和個人電腦供應(yīng)商訂單增加以及終端市場需求反彈的推動,德州儀器產(chǎn)品的銷量得到提振。
首席執(zhí)行官Haviv Ilan在財報電話會議上表示,汽車市場的收入也環(huán)比增長了個位數(shù)。Ilan表示:“中國電動汽車市場發(fā)展勢頭強(qiáng)勁,我們的產(chǎn)品在中國市場不斷增長,這才是推動第三季度增長的真正原因?!辈贿^,他還表示,預(yù)計其余汽車市場仍將保持疲軟態(tài)勢。
Ilan補(bǔ)充道,公司的三個主要市場已經(jīng)開始反彈,但其最大的銷售來源——工業(yè)和汽車芯片——仍面臨庫存過剩的問題。展望未來,德州儀器第四季度的預(yù)期是營收在37億美元至40億美元之間(折合人民幣約263億元至285億元)。(集邦化合物半導(dǎo)體Morty整理)
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揚(yáng)杰科技取得GaN MOSFET專利
天眼查資料顯示,5月10日,揚(yáng)杰科技取得一項“一種氮化鎵MOSFET封裝應(yīng)力檢測結(jié)構(gòu)”專利,授權(quán)公告號CN110749389B,申請日期為2019年12月1日,授權(quán)公告日為2024年5月10日。
該專利摘要顯示,一種氮化鎵MOSFET塑封應(yīng)力檢測結(jié)構(gòu)、涉及功率半導(dǎo)體器件技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種氮化鎵MOSFET塑封應(yīng)力檢測結(jié)構(gòu)。提供了一種方便檢測,提供檢測可靠性的氮化鎵MOSFET塑封應(yīng)力檢測結(jié)構(gòu)。包括芯片、引線框架以及覆蓋在芯片、引線框架上的塑封層,所述芯片包括襯底、制作在襯底上的氮化鎵MOSFET結(jié)構(gòu)層、制作在襯底底部的壓阻、制作在襯底底面上的絕緣層、制作在絕緣層上的電極層,所述襯底的材料為單晶硅。本發(fā)明的氮化鎵MOSFET塑封應(yīng)力檢測結(jié)構(gòu)的制備工藝與常規(guī)氮化鎵MOSFET芯片制備和封裝工藝兼容,制備過程簡單易行。
source:天眼查
此前,在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域,揚(yáng)杰科技全面聚焦SiC產(chǎn)業(yè),其2023年年報顯示,公司已開發(fā)上市G1、G2系SiC MOSFET產(chǎn)品,型號覆蓋650V/1200V/1700V 13mΩ-1000mΩ,已經(jīng)實現(xiàn)批量出貨,其中1200V SiC MOSFET平臺的比導(dǎo)通電阻(RSP)已做到3.5mΩ.cm2以下,F(xiàn)OM值達(dá)到3300mΩ.nC以下,可對標(biāo)國際水平。2023年,揚(yáng)杰科技還開發(fā)了FJ、Easy Pack等系列SiC模塊產(chǎn)品。目前,其各類產(chǎn)品已廣泛應(yīng)用于新能源汽車、光儲充、工業(yè)電源等領(lǐng)域。
其中,在當(dāng)前十分火熱的車用場景,揚(yáng)杰科技自主開發(fā)的車載SiC模塊已經(jīng)研制出樣,目前已經(jīng)獲得多家 Tier1 和終端車企的測試及合作意向,計劃于 2025 年完成全國產(chǎn)主驅(qū)SiC模塊的批量上車。
在此前已組建GaN研發(fā)團(tuán)隊的基礎(chǔ)上,伴隨著此次揚(yáng)杰科技取得新專利,其業(yè)務(wù)布局有望進(jìn)一步向GaN產(chǎn)業(yè)加大滲透。
新潔能取得SiC SBD專利
天眼查資料顯示,5月10日,新潔能取得一項“一種高耐壓的碳化硅肖特基二極管及其制造方法”專利,授權(quán)公告號CN109037356B,申請日期為2018年10月15日,授權(quán)公告日為2024年5月10日。
該專利摘要顯示,本發(fā)明屬于半導(dǎo)體器件的制造技術(shù)領(lǐng)域,涉及一種高耐壓的碳化硅肖特基二極管,半導(dǎo)體基板包括N型碳化硅襯底及N型碳化硅外延層,在N型碳化硅外延層內(nèi)的上部設(shè)有若干個間隔分立的條形第一P型阱區(qū)及條形第一N型阱區(qū),在條形第一P型阱區(qū)和條形第一N型阱區(qū)下方或下表面設(shè)有若干個間隔分立的條形第二P型阱區(qū)及條形第二N型阱區(qū),條形第一P型阱區(qū)分別與條形第二P型阱區(qū)、條形第二N型阱區(qū)間呈30度~90度的夾角;本發(fā)明通過在條形第一P型阱區(qū)下方設(shè)置與條形第一P型阱區(qū)呈一定夾角的條形第二P型阱區(qū),同時提高條形P型阱區(qū)間條形N型阱區(qū)的摻雜濃度,大幅增加器件的擊穿電壓,改善器件的浪涌電流能力。
source:天眼查
作為一家功率半導(dǎo)體廠商,新潔能目前正在全面布局第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)兩大代表材料SiC和GaN。在SiC領(lǐng)域,2023年,新潔能已開發(fā)完成1200V 23mΩ 75mΩ和750V 26mΩ SiC MOSFET系列產(chǎn)品,新增產(chǎn)品12款,相關(guān)產(chǎn)品處于小規(guī)模銷售階段。
在GaN領(lǐng)域,2023年,新潔能650V/190mΩ E-Mode GaN HEMT產(chǎn)品、650V 460mΩ D-Mode GaN HEMT已開發(fā)完成,新增產(chǎn)品2款,并通過可靠性考核,其100V/200V GaN產(chǎn)品正在開發(fā)中。
此次取得新專利,有助于新潔能進(jìn)一步提升SiC SBD產(chǎn)品技術(shù)水平。(集邦化合物半導(dǎo)體Zac整理)
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揚(yáng)杰科技2023年營收54.10億,SiC MOS批量出貨
4月21日晚間,揚(yáng)杰科技公布2023年年度報告。2023年,揚(yáng)杰科技實現(xiàn)營收54.10億元,同比增長0.12%;歸母凈利潤9.24億元,同比下滑12.85%;歸母扣非凈利潤7.04億元,同比下滑-28.22%。
揚(yáng)杰科技致力于功率半導(dǎo)體硅片、芯片及器件設(shè)計、制造、封裝測試等中高端領(lǐng)域的產(chǎn)業(yè)發(fā)展,其主營產(chǎn)品主要分為三大板塊,具體包括材料板塊(單晶硅棒、硅片、外延片)、晶圓板塊(5英寸、6英寸、8英寸等各類電力電子器件芯片)及封裝器件板塊(MOSFET、IGBT、SiC系列產(chǎn)品、整流器件、保護(hù)器件、小信號及其他產(chǎn)品系列等),廣泛應(yīng)用于汽車電子、清潔能源、5G通訊、安防、工業(yè)、消費類電子等領(lǐng)域。
2023年,揚(yáng)杰科技持續(xù)增加對第三代半導(dǎo)體芯片行業(yè)的投入,加大在SiC、GaN功率器件等產(chǎn)品的研發(fā)力度。其已開發(fā)上市G1、G2系SiC MOS產(chǎn)品,型號覆蓋650V/1200V/1700V 13mΩ-1000mΩ,已經(jīng)實現(xiàn)批量出貨,其中1200V SiC MOS平臺的比導(dǎo)通電阻(RSP)已做到3.5mΩ.cm2以下,F(xiàn)OM值達(dá)到3300mΩ.nC以下,可對標(biāo)國際水平。揚(yáng)杰科技還開發(fā)FJ、Easy Pack等系列SiC模塊產(chǎn)品。當(dāng)前其各類產(chǎn)品已廣泛應(yīng)用于新能源汽車、光伏、充電樁、儲能、工業(yè)電源等領(lǐng)域。
車載模塊方面,2023年,揚(yáng)杰科技自主開發(fā)的車載SiC模塊已經(jīng)研制出樣,目前已經(jīng)獲得多家Tier1和終端車企的測試及合作意向,計劃于2025年完成全國產(chǎn)主驅(qū)SiC模塊的批量上車。
合作方面,2023年,揚(yáng)杰科技與東南大學(xué)集成電路學(xué)院簽約共同建設(shè)“揚(yáng)杰東大寬禁帶半導(dǎo)體聯(lián)合研發(fā)中心”,進(jìn)一步加大第三代半導(dǎo)體的研發(fā)力度。
關(guān)于業(yè)績變動原因,揚(yáng)杰科技表示,在外部市場環(huán)境下滑的情況下,2023年其營收同比略有增長,前3季度營收同比負(fù)增長進(jìn)一步收窄,并于4季度實現(xiàn)全年營收同比增長。報告期內(nèi),其光伏二極管、SiC產(chǎn)品、IGBT產(chǎn)品銷售同比大幅增長,但因行業(yè)競爭進(jìn)一步加劇,目前上述產(chǎn)品的毛利率低于公司平均毛利率,導(dǎo)致整體毛利率有所下滑。
聞泰科技2023年營收612.13億,已建立SiC MOS產(chǎn)品線
4月22日晚間,聞泰科技公布2023年年度報告。2023年,聞泰科技實現(xiàn)營收54.10億元,同比增長5.40%;歸母凈利潤11.81 億元,同比下降 19.00%;歸母扣非凈利潤11.27億元,同比下降28.58%。
聞泰科技是集研發(fā)設(shè)計和生產(chǎn)制造于一體的半導(dǎo)體、產(chǎn)品集成企業(yè)。其半導(dǎo)體業(yè)務(wù)采用IDM模式,產(chǎn)品包括二極管、雙極性晶體管、ESD保護(hù)器件、MOS器件、GaN FET、SiC二極管與MOS、IGBT以及模擬IC和邏輯IC。
2023年,在三代半領(lǐng)域,聞泰科技實現(xiàn)了GaN產(chǎn)品D-M系列產(chǎn)品工業(yè)和消費領(lǐng)域的銷售,同時E-M產(chǎn)品通過所有測試認(rèn)證,于2024年開始銷售;實現(xiàn)了SiC整流管的工業(yè)消費級的量產(chǎn)和MOS的工業(yè)消費級的測試驗證,SiC MOS產(chǎn)品線的建立,讓其進(jìn)入三代半1200V高壓市場,拓展新的增長空間。
2023年,聞泰科技半導(dǎo)體業(yè)務(wù)營收152.26億元,同比下降 4.85%,業(yè)務(wù)毛利率為38.59%, 實現(xiàn)凈利潤為24.26億元,同比下降35.29%。2023年,其半導(dǎo)體業(yè)務(wù)來源于汽車、移動及穿戴設(shè)備、工業(yè)與電力、計算機(jī)設(shè)備、消費領(lǐng)域的收入占比分別為62.8%、6.9%、21.7%、4.8%、3.8%。
關(guān)于半導(dǎo)體業(yè)務(wù)業(yè)績變動主要原因,聞泰科技表示,受宏觀經(jīng)濟(jì)等因素影響,全球半導(dǎo)體市場經(jīng)過兩年的強(qiáng)勁周期后, 于2022年底增速放緩,2023年到2024年初仍然疲軟。其中,從行業(yè)來看,汽車領(lǐng)域包括電動汽車仍然是其半導(dǎo)體收入來源的主要方向,來自該領(lǐng)域的收入占比為62.8%,同比增長22.95%。第四季度,受全球經(jīng)濟(jì)影響,汽車領(lǐng)域半導(dǎo)體需求增速階段性放緩。同時,聞泰科技半導(dǎo)體業(yè)務(wù)持續(xù)投入研發(fā),2023年其半導(dǎo)體業(yè)務(wù)研發(fā)投入為16.34億元,同比增長37.20%。(集邦化合物半導(dǎo)體Zac整理)
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作為國內(nèi)少數(shù)集半導(dǎo)體分立器件芯片設(shè)計制造、器件封裝測試、終端銷售與服務(wù)等產(chǎn)業(yè)鏈垂直一體化(IDM)的廠商,揚(yáng)杰科技近年來持續(xù)深耕功率半導(dǎo)體領(lǐng)域,推動公司總營收從2014年的5.3億元增長到2022年的54億元,凈利潤從1億元增長到10多億元。
據(jù)揚(yáng)杰科技黨委書記、副董事長梁瑤介紹,公司每年投入的研發(fā)費用占總營收的比例超過5%,在IGBT等新產(chǎn)品領(lǐng)域的研發(fā)費用占比超過了15%甚至20%。據(jù)稱,揚(yáng)杰科技目前在全球功率分立器件企業(yè)中排名第12位。其中,功率二極管市占率位居中國第一,全球第二;整流橋和光伏旁路二極管市占率均位居全球第一。
展望2024年,揚(yáng)杰科技將有三大投入:一是IGBT項目上馬;二是車用模塊項目投入;三是越南工廠建設(shè)。其中,越南工廠建成投產(chǎn)后可以助力公司品牌進(jìn)軍歐美市場。
在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域,揚(yáng)杰科技已有多年的技術(shù)、產(chǎn)品及產(chǎn)能儲備。早在2015年,揚(yáng)杰科技便募資1.5億元投向SiC芯片、器件研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化建設(shè)項目。
產(chǎn)品方面,2022年上半年,揚(yáng)杰科技開發(fā)了650V 2A-40A、1200V 2A-40A SiC SBD二極管產(chǎn)品,并獲得國內(nèi)Top 10光伏逆變器客戶的認(rèn)可,完成了批量出貨。MOSFET產(chǎn)品方面,公司1200V 80mΩ SiC MOSFET系列產(chǎn)品也已獲得客戶認(rèn)可,并實現(xiàn)量產(chǎn)。
產(chǎn)能方面,2023年4月,揚(yáng)杰科技與江蘇省揚(yáng)州市邗江區(qū)簽署了《6英寸碳化硅晶圓項目進(jìn)園框架合同》,擬投資新建6英寸晶圓生產(chǎn)線項目,總投資約10億元。該項目分兩期實施建設(shè),項目全部建成投產(chǎn)后,將形成6英寸SiC晶圓產(chǎn)能5000片/月。
此外,2023年6月,揚(yáng)杰科技宣布與東南大學(xué)簽署合作協(xié)議,組建“東南大學(xué)—揚(yáng)杰科技寬禁帶功率器件技術(shù)聯(lián)合研發(fā)中心”。基于此研發(fā)中心,雙方將在功率半導(dǎo)體領(lǐng)域(尤其是寬禁帶功率器件領(lǐng)域)進(jìn)行深層次合作,開發(fā)世界級水平、具有自主知識產(chǎn)權(quán)的、符合市場與應(yīng)用需求的功率半導(dǎo)體芯片,包括發(fā)展戰(zhàn)略研究、硅基功率器件設(shè)計、寬禁帶功率器件設(shè)計等項目的開展,加速功率半導(dǎo)體芯片設(shè)計及應(yīng)用等研究成果的產(chǎn)業(yè)化。
隨著此次SiC模塊封裝項目簽約落地,揚(yáng)杰科技有望進(jìn)一步深化第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈布局。(集邦化合物半導(dǎo)體Zac整理)
更多SiC和GaN的市場資訊,請關(guān)注微信公眾賬號:集邦化合物半導(dǎo)體。
]]>“隔離柵碳化硅晶體管及其制備方法”專利
天眼查資料顯示,12月29日,揚(yáng)杰科技公開一項“隔離柵碳化硅晶體管及其制備方法”專利,申請公布號為CN117316982A。
該專利摘要顯示,隔離柵的碳化硅晶體管及其制備方法,涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域。包括從下而上依次連接的碳化硅襯底,碳化硅漂移層和正面金屬層;所述碳化硅漂移層的頂面設(shè)有向下延伸的PW區(qū);所述PW區(qū)的頂面設(shè)有向下延伸的NP區(qū);所述NP區(qū)內(nèi)設(shè)有向下延伸的PP區(qū);所述碳化硅漂移層的頂面依次設(shè)有向上伸入正面金屬層內(nèi)的柵氧層和Poly層;所述碳化硅漂移層的頂面設(shè)有包裹所述柵氧層和Poly層的氧化物隔離層,所述氧化物隔離層底端分別與碳化硅漂移層和NP區(qū)連接;所述氧化物隔離層的側(cè)部設(shè)有與PP區(qū)連接的歐姆接觸金屬層。本發(fā)明一定程度上可提高器件的開關(guān)性能,降低開關(guān)損耗。
“一種碳化硅半導(dǎo)體器件及其制備方法”專利
天眼查資料顯示,12月29日,揚(yáng)杰科技公開一項“一種碳化硅半導(dǎo)體器件及其制備方法”專利,申請公布號為CN117316985A。
該專利摘要顯示,一種碳化硅半導(dǎo)體器件及其制備方法,涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域。包括從下而上依次設(shè)置的碳化硅襯底和碳化硅漂移層,所述碳化硅漂移層的頂面設(shè)有若干間隔向下延伸的溝槽;還包括:PW區(qū),位于所述溝槽處;NP區(qū),從所述溝槽的頂部向下延伸,包裹于所述PW區(qū)內(nèi);PP區(qū),設(shè)置在所述溝槽處,位于所述NP區(qū)的下方;柵氧層,設(shè)置在相鄰溝槽之間,位于所述碳化硅漂移層的頂面;Poly層,設(shè)置在所述柵氧層的頂面;隔離層,設(shè)置在所述Poly層上,并從側(cè)部向下延伸至NP區(qū);本發(fā)明一定程度上減小了N漂移層所帶來的電阻,從而可降低體二極管的導(dǎo)通電阻,減少其在續(xù)流過程中產(chǎn)生的損耗。
圖片來源:拍信網(wǎng)正版圖庫
“一種碳化硅二極管器件及其制備方法”專利
天眼查資料顯示,12月29日,揚(yáng)杰科技公開一項“一種碳化硅二極管器件及其制備方法”專利,申請公布號為CN117316986A。
該專利摘要顯示,一種碳化硅二極管器件及其制備方法,涉及半導(dǎo)體器件。包括從下而上依次設(shè)置的碳化硅襯底、碳化硅外延層、正面電極金屬;所述碳化硅外延層的頂面設(shè)有若干向下延伸的P區(qū)溝槽,所述P區(qū)溝槽內(nèi)設(shè)有P型區(qū);若干所述P型區(qū)之間設(shè)有N區(qū)溝槽;所述P型區(qū)內(nèi)部設(shè)有歐姆接觸金屬;所述歐姆接觸金屬和碳化硅外延層上設(shè)有肖特基結(jié)接觸金屬;所述肖特基結(jié)接觸金屬的上方設(shè)有正面電極金屬;所述碳化硅襯底和碳化硅外延層的導(dǎo)電類型均為N型。本發(fā)明可以通過形成兩層不同摻雜濃度的外延層,來降低器件外延層的導(dǎo)通電阻,進(jìn)一步提高器件通流能力。
“一種提升SIC功率器件短路魯棒性的結(jié)構(gòu)及制造方法”專利
天眼查資料顯示,12月29日,揚(yáng)杰科技公開一項“一種提升SIC功率器件短路魯棒性的結(jié)構(gòu)及制造方法”專利,申請公布號為CN117316983A。
該專利摘要顯示,一種提升SIC功率器件短路魯棒性的結(jié)構(gòu)及制造方法,涉及功率半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域。包括以下步驟:步驟001,提供一種N型重?fù)诫s類型的襯底,即為N+型SiC半導(dǎo)體襯底,摻雜濃度為360~400um,摻雜濃度為1e19 cm2;N+型襯底具有兩個表面,分為正面與背面,在正面形成一層N型緩沖層,厚度為0.8~1um,摻雜濃度為1e18 cm2;在N型緩沖層覆蓋N型輕摻雜類型的漂移層,即為N型漂移層,厚度為5~15um,摻雜濃度為5e15~1e16 cm2,背面形成金屬電極層;步驟002,在漂移層的表面通過光刻掩膜,進(jìn)行P型摻雜形成PWell阱區(qū);本發(fā)明制作工藝簡單,效果顯著,可以應(yīng)用于新型碳化硅MOSFET功率器件的制造。
“一種碳化硅MOSFET器件及其制備方法”專利
天眼查資料顯示,12月29日,揚(yáng)杰科技公開一項“一種碳化硅MOSFET器件及其制備方法”專利,申請公布號為CN117317017A。
該專利摘要顯示,一種碳化硅MOSFET器件及其制備方法,涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域。包括從下而上依次設(shè)置的碳化硅襯底和碳化硅漂移層;所述碳化硅漂移層的頂面設(shè)有若干間隔向下延伸的PW區(qū);所述PW區(qū)的頂面設(shè)有向下延伸的NP區(qū)和PP區(qū)一;相鄰所述PW區(qū)之間設(shè)有源級處溝槽,所述源級處溝槽的槽底設(shè)有向下延伸的PP區(qū)二;所述碳化硅漂移層頂面的端部和中部分別設(shè)有從下而上依次設(shè)置的柵氧層、Poly層和隔離層;所述隔離層從側(cè)部向下延伸與NP區(qū)連接;本發(fā)明通過在碳化硅MOSFET中形成溝槽體二極管,使得體二極管導(dǎo)通從N型漂移層開始,提高了體二極管的導(dǎo)通能力,并且有效避免了由于電子和空穴的復(fù)合現(xiàn)象而導(dǎo)致的晶格缺陷蔓延,從而減小雙極退化現(xiàn)象引起的器件性能退化。
“一種新型源區(qū)溝槽碳化硅二極管器件及其制備方法”專利
天眼查資料顯示,12月29日,揚(yáng)杰科技公開一項“一種新型源區(qū)溝槽碳化硅二極管器件及其制備方法”專利,申請公布號為CN117316984A。
該專利摘要顯示,一種新型源區(qū)溝槽碳化硅二極管器件及其制備方法,涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域。包括從下而上依次設(shè)置的背面加厚金屬、背面歐姆接觸金屬、碳化硅襯底、碳化硅外延層和N型注入?yún)^(qū);所述N型注入?yún)^(qū)的頂面設(shè)有伸入碳化硅外延層的終端溝槽和若干間隔設(shè)置的源區(qū)溝槽;所述源區(qū)溝槽的槽底設(shè)有向下延伸的P型注入?yún)^(qū);所述終端溝槽的頂面設(shè)有伸入碳化硅外延層的P型主結(jié)和若干間隔設(shè)置的P型分壓環(huán);所述碳化硅外延層上設(shè)有覆蓋P型主和若干P型分壓環(huán)的場氧層;本發(fā)明在不增加單顆芯片面積和工藝復(fù)雜程度的基礎(chǔ)上,進(jìn)一步降低了器件的正向?qū)▔航怠?/p>
近年來,揚(yáng)杰科技大力布局第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)。2022年6月,揚(yáng)杰科技以2.95億元收購中電科四十八所持有的楚微半導(dǎo)體40%股權(quán),標(biāo)的公司主要布局中高端功率器件。2023年2月,揚(yáng)杰科技又以2.94億元收購楚微半導(dǎo)體30%股權(quán)。
2023年6月,揚(yáng)杰科技宣布與東南大學(xué)簽署合作協(xié)議,組建“東南大學(xué)—揚(yáng)杰科技寬禁帶功率器件技術(shù)聯(lián)合研發(fā)中心”。與此同時,揚(yáng)杰科技計劃與揚(yáng)州市邗江區(qū)簽署《6英寸碳化硅晶圓項目進(jìn)園框架合同》,擬投資新建6英寸SiC晶圓生產(chǎn)線項目,總投資約10億元,該項目分兩期實施建設(shè),項目全部建成投產(chǎn)后,形成6英寸SiC晶圓產(chǎn)能5000片/月。(集邦化合物半導(dǎo)體整理)
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]]>基于此研發(fā)中心,雙方將在功率半導(dǎo)體領(lǐng)域(尤其是寬禁帶功率器件領(lǐng)域)進(jìn)行深層次合作,開發(fā)世界級水平、具有自主知識產(chǎn)權(quán)的、符合市場與應(yīng)用需求的功率半導(dǎo)體芯片,包括發(fā)展戰(zhàn)略研究、硅基功率器件設(shè)計、寬禁帶功率器件設(shè)計等項目的開展,加速功率半導(dǎo)體芯片設(shè)計及應(yīng)用等研究成果的產(chǎn)業(yè)化。
01、揚(yáng)杰科技深耕功率半導(dǎo)體
除了此次與東南大學(xué)共建研發(fā)中心之外,揚(yáng)杰科技近期還表示,因公司戰(zhàn)略發(fā)展需要,計劃與揚(yáng)州市邗江區(qū)人民政府簽署了《6英寸碳化硅晶圓項目進(jìn)園框架合同》,擬投資新建6英寸碳化硅晶圓生產(chǎn)線項目,總投資約10億元。
該項目分兩期實施建設(shè),項目全部建成投產(chǎn)后,形成碳化硅6英寸晶圓產(chǎn)能5000片/月。項目位于揚(yáng)州市邗江區(qū)汽車產(chǎn)業(yè)園新甘泉東路 56 號。項目新建廠房 27,000 平方米,其中高潔凈車間(光刻區(qū)十級、操作區(qū)百級)的凈化裝修預(yù)計在 4,500 平方米。
此外,在去年6月,揚(yáng)杰科技以2.95億元收購中電科四十八所持有的楚微半導(dǎo)體40%股權(quán),標(biāo)的主要布局中高端功率器件。
今年2月,揚(yáng)杰科技又以2.94億元收購楚微半導(dǎo)體30%股權(quán),若收購成功,楚微半導(dǎo)體將成為揚(yáng)杰科技的子公司。
詳細(xì)來看,楚微半導(dǎo)體主要在8英寸生產(chǎn)工藝平臺生產(chǎn)及銷售半導(dǎo)體功率器件芯片,產(chǎn)品主要包括高、中、低壓溝槽式MOSFET芯片和溝槽式光伏二極管芯片等,后續(xù)將向SiC碳化硅芯片等產(chǎn)品拓展。
02、東南大學(xué)加速科研成果產(chǎn)業(yè)化
而東南大學(xué)方面,在近幾年來一支在加速科研技術(shù)成果的落地,與揚(yáng)杰科技成立研發(fā)中心是眾多落地項目之一。目前東南大學(xué)與不同企業(yè)共建來了25個校企聯(lián)合研發(fā)中心。在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域,東南大學(xué)還與紫金山實驗室、南京第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心有限公司。
值得一提的是,去年12月,東南大學(xué)有兩項研究成果發(fā)表在電子器件領(lǐng)域頂會IEDM。第一項成果題為“41% Reduction In Power Stage Area On Silicon-On-Insulator Bipolar-CMOS-DMOS-IGBT Platform With Newly Developed Multiple Deep-Oxide Trench Technology”,東南大學(xué)副研究員張龍、博士生馬杰為論文共同一作。
報道了一種具有多深度氧化溝槽(MDOT)的SOI基Bipolar-CMOS-DMOS-IGBT技術(shù)(圖1),集成了550V高壓LIGBT、LDMOS、FWD及中低壓CMOS、BJT等器件,實現(xiàn)了高低壓隔離、高壓互連線屏蔽以及器件漂移區(qū)的大幅縮短。采用MDOT技術(shù)能夠?qū)纹芍悄芄β市酒械墓β始壝娣e縮小約41%。
(來源:東大電子)
第二項成果題為“Hybrid Gate p-GaN Power HEMTs Technology for EnhancedVth Stability”,東南大學(xué)博士生張弛為論文第一作者。
報道了一種提高第三代功率半導(dǎo)體p-GaN HEMT器件閾值電壓穩(wěn)定性的技術(shù)——p-GaN柵極混合接觸勢壘技術(shù)(圖2),利用勢壘較低的局部歐姆接觸形成的“電荷泄放”路徑,有效抑制了傳統(tǒng)p-GaN HEMT中存在的“電荷存儲”效應(yīng),在維持器件低柵漏電特性的前提下增強(qiáng)了器件閾值穩(wěn)定性。
該技術(shù)使得器件在200V、400V反偏應(yīng)力下閾值電壓漂移量分別為0.07V與0.09V;在重復(fù)非鉗位感性負(fù)載應(yīng)力沖擊下,閾值電壓漂移量僅為0.03V。
(來源:東大電子)
文:集邦化合物半導(dǎo)體 Jump整理
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]]>2015年,揚(yáng)杰科技進(jìn)入第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域,并逐步組建了相關(guān)設(shè)計、測試、工藝等人才,現(xiàn)已形成了多項專利等知識產(chǎn)權(quán)。入局那一年,揚(yáng)杰科技便啟動1.5億元募資,用于建設(shè)SiC芯片、器件研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化建設(shè)項目。目前,揚(yáng)杰科技已開發(fā)并向市場推出SiC模塊及 650V/1200V SiC SBD系列產(chǎn)品;SiC MOSFET產(chǎn)品則已取得關(guān)鍵性進(jìn)展。后續(xù),揚(yáng)杰科技擬進(jìn)一步布局 6-8 英寸碳化硅芯片生產(chǎn)線建設(shè)。
值得注意的是,揚(yáng)杰科技的經(jīng)營模式采取IDM和Fabless并行,按照業(yè)務(wù)劃分,其在SiC領(lǐng)域短期內(nèi)采用的是Fabless模式,并保持與主流晶圓廠的長期合作。不過,今年的幾大動作反映了揚(yáng)杰科技正在強(qiáng)化內(nèi)部SiC產(chǎn)業(yè)鏈的布局。
6英寸SiC晶圓生產(chǎn)線若建設(shè)完成并順利投產(chǎn),揚(yáng)杰科技在晶圓產(chǎn)能上將有了雙層的保障,也有利于其優(yōu)化成本,提升器件、模塊產(chǎn)品的競爭力。根據(jù)公告顯示,揚(yáng)杰科技已于4月18日與江蘇省揚(yáng)州市邗江區(qū)人民政府簽署了《6英寸碳化硅晶圓項目進(jìn)園框架合同》。未來,項目將分兩期實施建設(shè),全部建成投產(chǎn)后,將形成碳化硅6英寸晶圓產(chǎn)能5000片/月。
除了自建晶圓產(chǎn)線之外,揚(yáng)杰科技也在加大對SiC芯片領(lǐng)域的布局。今年2月,揚(yáng)杰科技宣布擬公開摘牌參與受讓楚微半導(dǎo)體30%的股權(quán),交易完成后,加上2022年已取得的40%股權(quán),揚(yáng)杰科技將持有楚微半導(dǎo)體達(dá)70%的股權(quán),目的是完善8英寸功率半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)線布局,滿足市場對MOSFET、IGBT等持續(xù)增長的需求。
值得注意的是,在楚微半導(dǎo)體的業(yè)務(wù)規(guī)劃中,SiC芯片是一個重要的發(fā)展方向。而且,楚微半導(dǎo)體目前正在建設(shè)一條月產(chǎn)5000片的6英寸SiC芯片生產(chǎn)線。而據(jù)2022年交易的特別約定,揚(yáng)杰科技負(fù)責(zé)籌措楚微半導(dǎo)體二期建設(shè)資金,確保后者最遲在2024年12月31日前完成增加建設(shè)這條6英寸SiC芯片生產(chǎn)線及一條月產(chǎn)3萬片的8英寸硅基芯片生產(chǎn)線。
從這些動作不難發(fā)現(xiàn),揚(yáng)杰科技在完善SiC產(chǎn)業(yè)鏈布局方面已有清晰的規(guī)劃和實質(zhì)意義上的布局,充分為抓住SiC的市場機(jī)遇,擴(kuò)大公司市占率和影響力做準(zhǔn)備。
2022年,揚(yáng)杰科技的SiC產(chǎn)品線研發(fā)取得重大突破,盡管在現(xiàn)有的收入來源中,SiC系列產(chǎn)品營收占比還比較低,但其坦言,SiC增長速度,占比也在逐步增長。而且,今年以來加速導(dǎo)入汽車、工業(yè)等應(yīng)用市場,帶動SiC產(chǎn)業(yè)鏈需求高速成長。結(jié)合前景已然明朗的SiC產(chǎn)業(yè),揚(yáng)杰科技有望隨著產(chǎn)線的建設(shè)、技術(shù)水平的提高及產(chǎn)品的升級,加速兌現(xiàn)業(yè)績。(文:集邦化合物半導(dǎo)體Jenny)
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