近日，2家國際碳化硅（SiC）設備公司——Aehr和Axcelis于同一天宣布公司獲得了新訂單。
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Aehr的FOX-NP SiC MOSFET多晶圓測試和老化系統(tǒng)獲美企訂單
4月2日，全球半導體測試和老化設備供應商Aehr Test Systems宣布，公司已收到客戶的初步訂單，訂購一套FOX-NP晶圓級測試和老化系統(tǒng)、多臺WaferPak接觸器和一臺FOX WaferPak對準器，這些設備將用于SiC器件的工程設計、認證和小批量生產晶圓級測試和老化。
Aehr透露，客戶是一家年收入數十億美元的全球半導體公司，業(yè)務遍及歐洲、亞洲和美洲，服務于汽車、工業(yè)、移動和消費應用等多個行業(yè)。FOX-NP系統(tǒng)，包括FOX WaferPak對準器和初始版的WaferPaks，這些設備計劃在未來幾個月內發(fā)貨。
Aehr總裁兼首席執(zhí)行官Gayn Erickson評論道：“我們非常高興這位新客戶選擇我們的FOX-P解決方案來設計、鑒定和生產他們的SiC功率器件。該客戶已與Aehr技術解決方案團隊展開長期合作，對Aehr幫助他們實現這些目標的能力感到安心?？蛻暨x擇我們的FOX解決方案的一個關鍵特點是，它能夠經濟高效地實現其目標的老化和穩(wěn)定要求，包括100%的可追溯性，并證實晶圓上的每個器件都在所需的測試時間內被老化?！?/p>
Aehr介紹，FOX-NP系統(tǒng)配置了新的雙極性電壓通道模塊（BVCM）和甚高壓通道模塊（VHVCM）選項，使用Aehr專有的WaferPak全晶圓接觸器為SiC功率半導體提供新的高級測試和老化功能。
FOX-XP和FOX-NP系統(tǒng)提供多個WaferPak接觸器（全晶圓測試）或多個DiePakTM載體（單芯片/模塊測試）配置，能夠對SiC和GaN功率半導體、硅光子學以及其他光學器件、2D和3D傳感器、閃存等器件進行功能測試和老化/循環(huán)。磁傳感器、微控制器和其他尖端IC采用晶圓外形尺寸，然后再組裝成單芯片或多芯片堆疊封裝，或采用單芯片或模塊外形尺寸。
圖片來源：拍信網正版圖庫
Axcelis的Purion EXE SiC系列設備出貨日本
4月2日，半導體行業(yè)離子注入解決方案的供應商Axcelis Technologies宣布，公司的Purion EXE SiC高能注入機完成出貨，并且已交付給日本領先功率器件芯片制造商的Purion H200高電流注入機成功完成評估。
據介紹，這些設備將用于6英寸（150mm）和8英寸（200mm）SiC功率器件的生產，支持汽車、工業(yè)、能源和其他電力密集型應用。
Axcelis營銷和應用執(zhí)行副總裁Greg Redinbo表示：“8英寸Purion H200 SiC設備成功完成評估，使其能夠與日本一家領先的功率器件客戶現有的8英寸Purion EXE SiC一起投入生產。日本新的6英寸客戶追加訂購了一臺Purion EXE SiC，凸顯了客戶對先進SiC功率器件上更高能量離子注入配方的需求正在不斷增長，而Purion Power系列設備則能提供解決方案?！?/p>
值得一提的是，3月20日，Axcelis的Purion M SiC中電流注入機已向中國多家先進的功率器件芯片制造商發(fā)貨.這些設備于第一季度出貨，將用于6英寸SiC功率器件的生產，支持汽車、工業(yè)、能源和其他電力密集型應用。（集邦化合物半導體Morty整理）
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