鎵仁半導(dǎo)體制備出3英寸晶圓級(jí)(010)氧化鎵單晶襯底

作者 | 發(fā)布日期 2024 年 07 月 16 日 16:53 | 分類(lèi) 企業(yè)

7月15日,據(jù)鎵仁半導(dǎo)體官微消息,鎵仁半導(dǎo)體于今年7月成功制備出3英寸晶圓級(jí)(010)氧化鎵單晶襯底,據(jù)稱(chēng)為目前國(guó)際上已報(bào)導(dǎo)的最大尺寸。

source:鎵仁半導(dǎo)體

據(jù)鎵仁半導(dǎo)體介紹,在氧化鎵單晶襯底常見(jiàn)的主流晶面中,(010)襯底在物理特性和外延方面具有出色的表現(xiàn)。首先,(010)襯底熱導(dǎo)率最高,有利于提升功率器件性能;第二,(010)襯底具有較快的外延生長(zhǎng)速率;第三,基于(010)襯底制備的器件具有更優(yōu)異的性能。

資料顯示,鎵仁半導(dǎo)體成立于2022年9月,是一家專(zhuān)注于氧化鎵等超寬禁帶半導(dǎo)體單晶襯底及外延材料研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售的廠商。鎵仁半導(dǎo)體開(kāi)創(chuàng)了非導(dǎo)模法氧化鎵單晶生長(zhǎng)新技術(shù),突破了國(guó)際市場(chǎng)對(duì)氧化鎵材料的壟斷,可提供具有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的氧化鎵單晶襯底材料。

技術(shù)進(jìn)展方面,此前,鎵仁半導(dǎo)體聯(lián)合浙江大學(xué)杭州國(guó)際科創(chuàng)中心先進(jìn)半導(dǎo)體研究院、硅及先進(jìn)半導(dǎo)體材料全國(guó)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,采用楊德仁院士團(tuán)隊(duì)自主開(kāi)創(chuàng)的鑄造法成功制備了高質(zhì)量6英寸非故意摻雜及導(dǎo)電型氧化鎵(β-Ga2O3)單晶襯底。

2024年4月,鎵仁半導(dǎo)體推出了新產(chǎn)品2英寸晶圓級(jí)(010)氧化鎵半絕緣單晶襯底,并實(shí)現(xiàn)了2英寸(010)氧化鎵單晶襯底的自主量產(chǎn),打破了國(guó)際壟斷。

融資方面,今年4月,鎵仁半導(dǎo)體宣布完成數(shù)千萬(wàn)元天使輪融資,本輪融資由藍(lán)馳創(chuàng)投領(lǐng)投,禹泉資本、毅嶺資本跟投,融資資金將用于強(qiáng)化團(tuán)隊(duì)、加速氧化鎵襯底材料新方法及中試線研發(fā)。(集邦化合物半導(dǎo)體Zac整理)

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