日本礙子官宣已成功制備8英寸SiC晶圓

作者 | 發(fā)布日期 2024 年 09 月 19 日 17:55 | 分類 企業(yè)

9月17日,日本礙子株式會(huì)(NGK,下文簡(jiǎn)稱日本礙子)在其官網(wǎng)宣布,已成功制備出直徑為8英寸的SiC晶圓,并表示公司將于本月低在美國ICSCRM 2024展示8英寸SiC晶圓及相關(guān)研究成果。

公開資料顯示,日本礙子成立于1919年5月5日,主要業(yè)務(wù)包括制造和銷售汽車尾氣凈化所需的各種工業(yè)用陶瓷產(chǎn)品、電子及電氣設(shè)備用陶瓷產(chǎn)品、特殊金屬產(chǎn)品、蓄電系統(tǒng)、絕緣子和電力相關(guān)設(shè)備等。

6英寸SiC晶圓

6英寸SiC晶圓(source:日本礙子)

除了展示8英寸SiC晶圓以外,日本礙子還將披露“在多種襯底上生長(zhǎng)低BPD密度4H-SiC單晶的新方法”。

日本礙子表示,減少SiC襯底中的BPD是提高SiC功率器件產(chǎn)量和可靠性的重要手段。公司開發(fā)出了一種工藝,利用其陶瓷加工技術(shù)在多個(gè)襯底上生長(zhǎng)具有低BPD密度的4H-SiC晶體。今年3月,日本礙子表示,通過該工藝,其完成了在4英寸4H-SiC籽晶上同時(shí)生長(zhǎng)了9個(gè)晶體的實(shí)驗(yàn)。

除了碳化硅,日本礙子在氮化鎵(GaN)方面也有布局。

早在2012年,日本礙子便在其他研究機(jī)構(gòu)的協(xié)助下,在開發(fā)出來的GaN晶圓上制造了LED元件,并進(jìn)行了發(fā)光性能試驗(yàn)。據(jù)介紹,日本礙子的GaN晶片采用其專有的液相晶體生長(zhǎng)法生產(chǎn),整個(gè)晶圓表面的BPD密度大幅降低。

目前,日本礙子已開發(fā)出用于激光二極管等光源器件的2英寸GaN晶圓的量產(chǎn)結(jié)構(gòu)。日本礙子現(xiàn)正開發(fā)射頻器件和功率器件應(yīng)用,努力進(jìn)一步增大直徑并降低位錯(cuò)密度,旨在早日開發(fā)出量產(chǎn)結(jié)構(gòu)。(集邦化合物半導(dǎo)體Morty整理)

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