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全球首片8英寸藍(lán)寶石基GaN HEMTs晶圓發(fā)布

作者 |發(fā)布日期 2024 年 04 月 11 日 18:00 | 分類 產(chǎn)業(yè)
4月10日,在2024武漢九峰山論壇上,西安電子科技大學(xué)郝躍院士、張進(jìn)成教授課題組李祥東團(tuán)隊(duì)與廣東致能科技聯(lián)合攻關(guān),展示了全球首片8英寸藍(lán)寶石基GaN HEMTs晶圓。通過調(diào)控外延工藝,外延片不均勻性控制在4%以內(nèi),所制備的HEMTs器件的cp測試良率超過95%,擊穿電壓突破了2...  [詳內(nèi)文]