10月9日，中國電科第四十八研究所（下文簡稱“中電科48所”）官方公眾號發(fā)文稱，在連續(xù)數(shù)月實現(xiàn)月產(chǎn)20臺套產(chǎn)能驗證后，制造部汲取批產(chǎn)經(jīng)驗，及時調(diào)整裝調(diào)節(jié)奏、優(yōu)化生產(chǎn)管理，順利完成20臺套SiC外延設備的產(chǎn)出及發(fā)貨。
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據(jù)早先消息，在6英寸SiC外延機型方面，中電科48所收獲了國內(nèi)第三代半導體裝備行業(yè)的第一大訂單。該所研發(fā)的芯片制造關鍵裝備SiC高溫離子注入機已實現(xiàn)100%國產(chǎn)化，穩(wěn)居國內(nèi)市場占有率第一。
今年6月，2023上海國際半導體展覽會上，中電科48所攜自主研發(fā)用于生產(chǎn)SiC外延片的國產(chǎn)8英寸SiC外延設備亮相，標志著國產(chǎn)第三代半導體專用核心裝備邁進“8英寸時代”。
（文：集邦化合物半導體Morty整理）
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