4月17日，半導體離子注入廠商Axcelis宣布向全球領先的碳化硅（SiC）功率器件芯片制造商交付多批Purion Power系統(tǒng)離子注入器系統(tǒng)。這些設備包括Purion H200 SiC大電流、Purion XE SiC高能和Purion M SiC中電流注入機，且均在第一季度發(fā)貨。這些6英寸（150mm）和8英寸（200mm）設備將用于支持汽車、工業(yè)、能源和其他電力密集型應用的功率器件的大批量生產(chǎn)。
source：Axcelis
Axcelis總裁兼首席執(zhí)行官Russell Low評論道：“我們將不斷獲取新客戶，并擴大我們在全球現(xiàn)有客戶的足跡。Purion Power 系列因其高度差異化的特性和工藝控制能力成為功率器件應用的市場領導者。Axcelis是唯一一家能夠為所有功率器件應用提供完整配方覆蓋的離子注入公司?！?br /> 值得一提的是，算上本次，在一個月不到的時間里，Axcelis已完成三起SiC設備訂單的出貨，客戶包括中國、日本等地的功率器件制造商。
得益于技術優(yōu)勢，SiC設備拉動Axcelis營收。2023年，SiC設備業(yè)務營收占Axcelis總營收的34%，成為其業(yè)績重要組成部分和增長動力。（集邦化合物半導體Morty整理）
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