近日，上海優(yōu)睿譜半導體設備有限公司（下文簡稱“優(yōu)睿譜”）成功交付客戶一款晶圓邊緣檢測設備SICE200，設備可用于硅基以及化合物半導體襯底及外延晶圓的邊緣缺陷檢測。
source：優(yōu)睿譜
據介紹，優(yōu)睿譜本次推出的SICE200設備可兼容6&8英寸碳化硅&硅襯底和... [詳內文]
優(yōu)睿譜半導體交付SiC晶圓檢測設備 |
| 作者 huang, Mia|發(fā)布日期 2024 年 06 月 13 日 11:27 | 分類 企業(yè) |