11月28日，據(jù)“連城數(shù)控”官微消息，近日連科半導(dǎo)體8吋碳化硅（SiC）電阻式長(zhǎng)晶爐（型號(hào)：PVT-RS-40）在客戶現(xiàn)場(chǎng)完成批量驗(yàn)收。
與此同時(shí)，連科半導(dǎo)體還成功制備出了直徑超210毫米，厚度30毫米的8吋導(dǎo)電型碳化硅晶體，晶體表面光滑無(wú)缺陷。
source：連城數(shù)控
據(jù)介紹，連科半導(dǎo)體的8吋碳化硅電阻式長(zhǎng)晶爐，通過石墨電阻發(fā)熱，熱輻射傳導(dǎo)石墨坩堝進(jìn)行加熱，可調(diào)整石墨加熱器的結(jié)構(gòu)，有效的進(jìn)行分區(qū)功率控制和溫場(chǎng)的控制，更適合生長(zhǎng)大尺寸的碳化硅晶體。
值得一提的是，今年10月底，連科半導(dǎo)體的液相法碳化硅(感應(yīng))加熱長(zhǎng)晶爐及液相法碳化硅電阻加熱長(zhǎng)晶爐已在客戶現(xiàn)場(chǎng)完成驗(yàn)收。
連城數(shù)控表示，液相法技術(shù)在細(xì)分領(lǐng)域的優(yōu)勢(shì)逐步凸顯，尤其適用于生長(zhǎng)P型碳化硅襯底，不僅可以實(shí)現(xiàn)生長(zhǎng)低位錯(cuò)密度、高品質(zhì)的碳化硅晶片，還能顯著提升碳化硅晶片的生產(chǎn)成品率并降低成本。
目前來(lái)看，液相法長(zhǎng)晶技術(shù)已然成為技術(shù)和產(chǎn)業(yè)關(guān)注的焦點(diǎn)。然而，在產(chǎn)業(yè)化落地的道路上還需設(shè)備制造商與襯底生產(chǎn)商高度協(xié)作與配合，共同推進(jìn)國(guó)內(nèi)液相法技術(shù)進(jìn)步和產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程。（來(lái)源：連城數(shù)控、集邦化合物半導(dǎo)體整理）
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